擴散泵的結(jié)構(gòu)原理如圖1,底部為蒸發(fā)器,內(nèi)貯有擴散泵油。上部為進(jìn)氣口,右側(cè)旁管為出氣口,在工作時出氣口處由機械泵提供前置真空。當(dāng)油被電爐加熱時,產(chǎn)生的油蒸汽沿著導(dǎo)
流管經(jīng)傘形噴嘴向下噴出。因噴嘴外面有機械泵提供的真空(10-2~10-3托),故油蒸汽流可噴出一長段距離,鉤成一個向出氣口方向運動的射流。射流最后碰上有冷卻水冷卻的器壁時,授結(jié)為液休,流回蒸發(fā)器,重新使用。
由進(jìn)氣口進(jìn)入泵內(nèi)的氣體分子,一旦落入蒸汽流中,便獲得向下運動的動最,往下飛去。由于射流具有高的速度(約每秒200米)、高的蒸汽密度(蒸汽壓幾至幾十托),且擴散泵油具有高的分子量(350-500),故能有效地帶走氣體分子,因此在射流的界面內(nèi),氣體分子不可能長期停留,其濃度很小。換言之,在射流界面的兩邊,被抽氣體有很大的濃度差。正是這個濃度差,使被抽氣體能源源不斷地越過界面,擴散入射流中并被帶往出口處。在那里,它們被機械泵帶走。